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            日立高新掃描電子顯微鏡FlexSEM 1000

            編輯: | 2021年09月27日 | 材料表征

              日立高新技術公司于2016年4月15日在全球發布了新型掃描電子顯微鏡——FlexSEM 1000。該產品結構緊湊,占地面積小,但分辨率不輸大型電鏡,同時操作極其簡便,幾乎不用培訓就可操作。緊湊型設計,分辨率為4 nm。

                   掃描電子顯微鏡可對材料的表面進行高倍率觀察及高精度元素分析,在納米技術、生命科學、產品設計研發及失效分析等領域有著廣泛的應用。 近年來,掃描電鏡觀察表面精細結構及元素分析的需求日趨增加,而越來越多的用戶希望能在生產線、品保檢驗線和辦公區等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此,體積小、操作簡便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關注。FlexSEM 1000主機寬450mm、長640mm,相比SU1510型號體積減小52%,重量減輕45%,功耗減小50%,且配備標準化的電源接口。主機與供電單元可分離,安裝非常靈活。

                    FlexSEM 1000采用最新設計的電子光學系統和高可靠性、高靈敏度的探測器,分辨率高達4nm。FlexSEM 1000有多種自動化功能,操作簡便,即便是初次操作者也能快速拍出高質量圖像。另外,新開發的導航功能「SEM MAP」可使用各種光學圖片或電鏡照片進行導航,一鍵就快速精準地切換至感興趣的高倍率視野。

            緊湊型VP-SEM FlexSEM 1000

            (主機與供電單元可分離)

            特點:

            a. 通過高靈敏度二次電子探測器,背散射探測器,低真空探測器(UVD*2),實現低加速電壓/低真空下高質量圖像觀察

            b. 操作簡捷,即使新手也能拍出高質量的圖片

            c. 新開發的導航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野

            d. 大窗口(30 mm2)SDD能譜系統,便于快速分析元素成分*2

            *1  設置在桌面時,分離主機和電源箱

            *2  選配

            項目 內容
            分解能*3 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
            15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
            5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式)
            加速電壓 0.3 kV ~ 20 kV
            放大倍率 6× ~ 300,000× (底片倍率)
            16× ~ 800,000× (顯示倍率)
            低真空模式 真空范圍:6 ~ 100 Pa
            電子槍 預對中鎢燈絲
            樣品臺 3-軸自動馬達臺
            X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
            R:360°, T:-15° ~ +90°
            最大樣品尺寸 直徑80 mm
            最大樣品高度 40 mm
            尺寸 主機:450(W) x 640(D) x 670(H) mm
            供電單元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm
            探測器選配
            • 高靈敏度低真空二次電子探測器(UVD)

            • 能量分散型X線探測器(EDS)


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